Nel settembre del 1945, nella città tedesca di Lüneburg, iniziò il primo processo del secondo dopoguerra contro il comandante delle SS e il personale del campo di concentramento di Bergen-Belsen, del quale facevano parte individui che erano stati anche ad Auschwitz-Birkenau. Era un tribunale militare e la maggior parte dei testimoni dell’accusa erano sopravvissuti a uno o entrambi i campi.
Nel novembre 1945, i funzionari di alto rango del Terzo Reich sopravvissuti furono processati davanti all’IMT (Tribunale militare internazionale), a Norimberga, in Germania.
Il 13 dicembre 1945, il comandante, Josef Kramer, e altri dieci imputati furono giustiziati. Gli altri imputati ricevettero invece pene detentive o furono assolti.
Processi simili contro i funzionari di altri campi di concentramento nazisti furono tenuti dai tribunali militari americani a Dachau tra il 1945 e il 1947. Gli ufficiali delle Einsatzgruppen delle SS, le squadre mobili di sterminio responsabili dell’uccisione di ebrei, comunisti e molti altri nell’Europa orientale occupata dai nazisti, furono processati a Norimberga davanti a un tribunale americano nel 1947-1948. Si tennero altri processi per i rappresentanti dell’industria tedesca che avevano tratto profitto dai crimini nazisti.
Innumerevoli processi agli esecutori si svolsero in tutta l’Europa occupata, vicino ai luoghi dove i crimini erano stati commessi. Nel 1947, Rudolf Hoess, comandante di Auschwitz, fu impiccato nel campo dopo un processo a Cracovia.
I processi contro gli autori dell’Olocausto continuarono per molti anni dopo la guerra. Tra questi vi furono il processo Eichmann (Gerusalemme, 1961), il processo Auschwitz (Francoforte, Germania, 1953-1965), i processi a Klaus Barbie (Lione, Francia, 1987), Paul Touvier (Versailles, Francia 1994) e Maurice Papon (Bordeaux, Francia, 1998).
Nel recente passato si sono tenuti processi per funzionari minori, sebbene l’età degli imputati abbia complicato gli sforzi per dimostrare il loro coinvolgimento o garantire un giusto processo.