في سبتمبر من عام 1945، بدأت أول محاكمة بعد الحرب العالمية الثانية لقائد الإس إس وفريق من معسكر التركيز بيرغن بيلسن، وكان عدد منهم أيضا في أوشفيتس-بيركيناو، في المدينة الألمانية لونيبورغ. كانت محكمة عسكرية، وكان معظم شهود الادعاء من الناجين من أحد المعسكرين أو كليهما.
في نوفمبر عام 1945، تمت محاكمة كبار المسؤولين الباقين على قيد الحياة من الرايخ الثالث أمام المحكمة العسكرية الدولية في نورمبرغ المانيا.
في 13 ديسمبر 1945، تم إعدام القائد جوزيف كريمر وعشرة متهمين آخرين. وحكم على المتهمين الآخرين بالسجن أو بُرئت ساحتهم.
عقدت المحاكم العسكرية الأمريكية محاكمات مماثلة لمسؤولي معسكرات الاعتقال النازية الأخرى في داخاو بين عامي 1945 و 1947. تمت محاكمة ضباط من الإس إس قوات المهمات، فرق القتل المتنقلة، المسؤولة عن قتل اليهود والشيوعيين وغيرهم في أوروبا الشرقية التي وقعت تحت الاحتلال النازي في محكمة نورمبرغ أمام محكمة أمريكية في عامي 1947-1948. عقدت محاكمات أخرى لممثلي الصناعة الألمانية الذين استفادوا من جرائم النازية.
عقدت محاكمات لا حصر لها للجناة في جميع أنحاء أوروبا المحتلة، بالقرب من الأماكن التي ارتكبت فيه الجرائم. في عام 1947، تم شنق رودولف هويس، قائد أوشفيتس، في موقع المعسكر بعد محاكمة في كراكوف.
استمرت محاكمات مرتكبي الهولوكوست لسنوات عديدة بعد الحرب. وشملت محاكمة ايخمان (القدس، 1961)؛ محاكمة أوشفيتس (فرانكفورت، ألمانيا، 1953-1965)؛ ومحاكمات كلاوس باربي (ليون، فرنسا، 1987) بول توفيير (فرساي، فرنسا 1994)، وموريس بابون (بوردو، فرنسا، 1998).
في السنوات الأخيرة، عقدت محاكمات لموظفين صغار، على الرغم من أن عمر المدعى عليهم قد عقد الجهود لإثبات تورطهم أو ضمان الإجراءات القانونية الواجبة.
