En septiembre de 1945, comenzó en la ciudad alemana de Lüneburg el primer juicio posterior a la Segunda Guerra Mundial contra el comandante de las SS y el personal del campo de concentración de Bergen-Belsen, varios de los cuales también habían estado en Auschwitz-Birkenau. Era un tribunal militar y la mayoría de los testigos de la acusación eran supervivientes de uno o ambos campos.
En noviembre de 1945, oficiales de alto rango del Tercer Reich que habían sobrevivido fueron juzgados ante el TMI en Núremberg, Alemania.
El 13 de diciembre de 1945 fueron ejecutados el comandante Josef Kramer y otros diez acusados. Los demás acusados recibieron penas de prisión o fueron absueltos.
Entre 1945 y 1947, tribunales militares estadounidenses celebraron juicios similares en Dachau para oficiales de otros campos de concentración nazis. En los años 1947 y 1948, oficiales de los Einsatzgruppen de las SS, los escuadrones de exterminio móviles, responsables del asesinato de judíos, comunistas y otras personas en la Europa del Este ocupada por los nazis fueron juzgados en Núremberg ante un tribunal estadounidense. También se llevaron a cabo otros juicios para representantes de la industria alemana que se habían beneficiado de los crímenes nazis.
Se celebraron innumerables juicios de autores del Holocausto en toda la Europa ocupada, cerca de donde se habían cometido los delitos. En 1947, Rudolf Hoess, el comandante de Auschwitz, fue ahorcado en el emplazamiento del campo después de un juicio en Cracovia.
Los juicios de los perpetradores del Holocausto continuaron durante muchos años después de la guerra. Entre ellos, el juicio de Eichmann (Jerusalén, 1961); el juicio de Auschwitz (Frankfurt, Alemania, 1953-1965); y los juicios de Klaus Barbie (Lyon, Francia, 1987), Paul Touvier (Versalles, Francia, 1994) y Maurice Papon (Burdeos, Francia, 1998).
En los últimos años, se han realizado juicios de funcionarios menores, aunque la edad de los imputados ha complicado los esfuerzos por demostrar su implicación o garantizar el debido proceso legal.
