През септември 1945 г. в немския град Люнебург започва първото следвоенно дело срещу коменданта и персонала от СС от концентрационния лагер Берген-Белзен, от които голяма част са били и в Аушвиц-Биркенау. Разглежда се от военен трибунал, а повечето свидетели на обвинението са оцелели, били в единия или в двата лагера.
През ноември 1945 г. оцелелите високопоставени длъжностни лица от Третия райх са изправени на съд пред Нюрнбергския трибунал, в Германия.
На 13 декември 1945 г. комендантът Йозеф Крамер и десет други обвиняеми са екзекутирани. Други обвиняеми са осъдени на доживотен затвор или са оправдани.
Подобни процеси срещу длъжности лица от други нацистки концентрационни лагери се водят от американски военни трибунали в Дахау между 1945 г. и 1947 г. Офицери от айнзацгрупите – Einsatzgruppen на СС или с други думи мобилните отряди за убиване, отговорни за избиването на евреи, комунисти и други в окупираната от нацистите Източна Европа, са съдени в Нюрнберг преди Американския трибунал през 1947–48 г. Други процеси се водят срещу представители на немската индустрия, които печелят от нацистките престъпления.
Безброй дела за извършване на престъпления се водят навсякъде из бившите окупирани територии, където са извършвани престъпления. През 1947 г. Рудолф Хьос, комендантът на Аушвиц, е обесен на мястото на лагера след процес в Краков.
Процесите срещу извършителите на престъпления в Холокоста продължават с години след края на войната. В тях се включват Процесът „Айхман“ (Йерусалим, 1961 г.), Процесът „Аушвиц“ (Франкфурт, Германия 1953–65 г.) и процесите срещу Клаус Барби (Лион, Франция, 1987 г.), Пол Тувие (Версай, Франция, 1994 г.) и Морис Папон (Бордо, Франция, 1998 г.).
В последните години се провеждат процеси срещу по-дребните чиновници, но възрастта на обвиняемите утежнява усилията за доказване на тяхното участие и осигуряването на справедлив процес.
