1945 m. rugsėjį Vokietijos mieste Liuneburge įvyko pirmasis po Antrojo pasaulinio karo teismas, kuriame buvo teisiami SS komendantai ir Bergen-Belseno koncentracijos stovyklos personalas, kurio dalis taip pat dirbo Aušvice-Birkenau. Tai buvo karinis tribunolas, o dauguma kaltinimo liudininkų buvo išgyvenę vieną ar abi stovyklas.
1945 m. lapkritį Vokietijoje, prieš Niurnbergo IMT, buvo teisiami išgyvenę Trečiojo Reicho aukšto rango pareigūnai.
1945 m. gruodžio 13 d. komendantui Jozefui Krameriui ir dar dešimčiai kaltinamųjų buvo įvykdyta mirties bausmė. Kiti kaltinamieji gavo laisvės atėmimo bausmes arba buvo išteisinti.
Panašius kitų nacių koncentracijos stovyklų pareigūnų teismus 1945 ir 1947 m. Dachau surengė Amerikos karo nusikaltimų tribunolai. SS operatyvinių grupių (mobiliųjų smogikų būrių) pareigūnai, atsakingi už žydų, komunistų ir kitų nacių okupuotų Rytų Europos gyventojų žudymus, buvo teisiami 1947–1948 m. Niurnbergo karo nusikaltimų tribunole. Kiti teismai buvo surengti Vokietijos pramonės atstovams, kurie pelnėsi iš nacių nusikaltimų.
Visoje Europoje, netoli nusikaltimų vietų, įvyko daug teismų. 1947 m. po teismo Krokuvoje, stovykloje buvo pakartas Aušvico komendantas Rudolfas Hesas.
Holokausto vykdytojų teismai tęsėsi dar daugelį metų po karo. Tarp jų Eichmano teismas (Jeruzalė, 1961 m.); Aušvico teismas (Frankfurtas, Vokietija, 1953–1965 m.); Klauso Barbie (Lionas, Prancūzija, 1987 m.) Paulo Tuvjero (Versalis, Prancūzija, 1994 m.) ir Maurice Papono (Bordo, Prancūzija, 1998 m.) teismai.
Pastaraisiais metais buvo įvykdyti antraeiles funkcijas vykdžiusių nusikaltėlių teismai, tačiau kaltinamųjų amžius apsunkino įrodymus apie jų įsitraukimą į nusikaltimus ir teismo procesus.
