Em setembro de 1945, teve início na cidade alemã de Lüneburg o primeiro julgamento pós-Segunda Guerra Mundial do comandante da SS e dos oficiais do campo de concentração de Bergen-Belsen, alguns dos quais também estiveram em Auschwitz-Birkenau, iniciado na cidade alemã de Lüneburg Era um tribunal militar e a maioria das testemunhas de acusação eram sobreviventes de um ou de ambos os campos.
Em novembro de 1945, altos oficiais sobreviventes do Terceiro Reich foram levados a julgamento perante o TMI em Nuremberg, Alemanha.
Em 13 de dezembro de 1945, o comandante Josef Kramer e dez outros réus foram executados. Os outros réus receberam sentenças de prisão ou foram absolvidos.
Julgamentos semelhantes de oficiais de outros campos de concentração nazistas foram realizados por tribunais militares americanos em Dachau entre 1945 e 1947. Oficiais da SS Einsatzgruppen, os esquadrões móveis de execução, responsáveis pelo assassinato de judeus, comunistas e outros na Europa Oriental ocupada pelos nazistas, foram julgados em Nuremberg por um tribunal americano em 1947-1948. Outros julgamentos foram realizados para representantes da indústria alemã que haviam lucrado com os crimes nazistas.
Inúmeros julgamentos de perpetradores foram realizados em toda a Europa ocupada, perto de onde os crimes foram cometidos. Em 1947, Rudolf Hoess, comandante de Auschwitz, foi enforcado no local do campo após julgamento em Cracóvia.
Os julgamentos dos perpetradores do Holocausto continuaram por muitos anos após a guerra. Entre eles, o Julgamento de Eichmann (Jerusalém, 1961); o Julgamento de Auschwitz (Frankfurt, Alemanha, 1953-1965); e os julgamentos de Klaus Barbie (Lyon, França, 1987) Paul Touvier (Versalhes, França 1994) e Maurice Papon (Bordeaux, França, 1998).
Nos últimos anos, foram realizados julgamentos de funcionários secundários, embora a idade dos réus tenha dificultado os esforços para provar seu envolvimento ou garantir o devido processo.
