1945 szeptemberében került sor a második világháborút követő első tárgyalásra a német Lüneburg városban. A Bergen-Belsen koncentrációs tábor SS-parancsnokát és -személyzetét állították bíróság elé, akik közül sokan jelen voltak Auschwitz-Birkenauban is. Katonai törvényszék volt, és a tanúk többsége az egyik vagy mindkét tábor túlélője volt.
1945 novemberében a Harmadik Birodalom magas rangú túlélő tisztviselőit a Nemzetközi Katonai Törvényszék elé állították a németországi Nürnbergben.
1945. december 13-án Josef Kramer parancsnokot és további tíz vádlottat kivégezték. A többi vádlott börtönbüntetést kapott vagy felmentették őket.
A náci koncentrációs táborok tisztviselőit hasonló tárgyalásokon állították az amerikai katonai törvényszékek elő Dachauban 1945 és 1947 között. A nácik által megszállt Kelet-Európában zsidók, kommunisták és mások meggyilkolásáért felelős SS Einsatzgruppen, a mobil gyilkos osztagok tisztjeit Nürnbergben állították bíróság elé egy amerikai törvényszék előtt 1947–1948-ban. További tárgyalásokra került sor a német ipar képviselői ellen, akik profitáltak a náci bűncselekményekből.
Számtalan tettes állították bíróság elé a megszállt Európában, ahol bűncselekményeket követtek el. 1947-ben Rudolf Hößt, Auschwitz parancsnokát a krakkói tárgyalás után felakasztották a tábor helyszínén.
A holokauszt elkövetőinek tárgyalásai a háború után is sok éven át folytak. They included the Eichmann Trial (Jerusalem, 1961); the Auschwitz Trial (Frankfurt, Germany, 1953-1965); valamint Klaus Barbie (Lyon, Franciaország, 1987) Paul Touvier (Versailles, Franciaország, 1994) és Maurice Papon (Bordeaux, Franciaország, 1998) perei.
Az elmúlt években kevésbé jelentős tisztviselők tárgyalásaira került sor, bár a vádlottak életkora bonyolulttá tette a részvételük igazolását vagy a megfelelő eljárás biztosítását.
