Im September 1945 begann in der deutschen Stadt Lüneburg der erste Prozess nach dem Zweiten Weltkrieg gegen den SS-Kommandanten und das Personal des Konzentrationslagers Bergen-Belsen, von denen einige auch in Auschwitz-Birkenau gewesen waren. Es war ein Militärtribunal, und die meisten Zeugen der Anklage waren Überlebende eines oder beider Lager.
Im November 1945 wurden hochrangige Beamte des Dritten Reiches vor dem IMG in Nürnberg, Deutschland, vor Gericht gestellt.
Am 13. Dezember 1945 wurden der Kommandant, Josef Kramer, und zehn weitere Angeklagte hingerichtet. Die anderen Angeklagten erhielten Gefängnisstrafen oder wurden freigesprochen.
Ähnliche Prozesse gegen die Funktionäre anderer nationalsozialistischer Konzentrationslager wurden zwischen 1945 und 1947 von amerikanischen Militärgerichten in Dachau geführt. Offiziere der SS-Einsatzgruppen, der mobilen Tötungskommandos, die für die Ermordung von Juden, Kommunisten und anderen im nationalsozialistisch besetzten Osteuropa verantwortlich waren, wurden 1947 - 1948 in Nürnberg vor ein amerikanisches Tribunal gestellt. Weitere Prozesse wurden für Vertreter der deutschen Industrie durchgeführt, die von den Naziverbrechen profitiert hatten.
Unzählige Prozesse gegen die Schuldigen fanden im besetzten Europa statt, meist in der Nähe von Orten, an denen Verbrechen begangen worden waren. 1947 wurde Rudolf Höß, der Kommandant von Auschwitz, nach einem Prozess in Krakau auf dem Gelände des Lagers gehängt.
Die Prozesse gegen die Täter des Holocaust dauerten nach dem Krieg noch viele Jahre an. Dazu gehörten der Eichmann-Prozess (Jerusalem, 1961), die Auschwitzprozesse (Frankfurt, Deutschland, 1953 - 1965) und die Prozesse gegen Klaus Barbie (Lyon, Frankreich, 1987), Paul Touvier (Versailles, Frankreich, 1994) und Maurice Papon (Bordeaux, Frankreich, 1998).
In den letzten Jahren wurden Prozesse gegen weniger bedeutende Funktionäre geführt, obwohl das Alter der Angeklagten die Bemühungen erschwert hat, ihre Beteiligung nachzuweisen oder ein ordentliches Verfahren zu garantieren.
