I den tyska staden Lüneburg i september 1945 inleddes den första rättegången efter andra världskriget av SS-befälhavare och personal i koncentrationslägret Bergen-Belsen, av vilka flera också verkat i Auschwitz-Birkenau. Det var en militärdomstol, och de flesta av åklagarens vittnen var överlevande från ett eller båda lägren.
I november 1945 ställdes de av tredje rikets högsta ledare som fortfarande var i livet inför rätta vid Internationella militärtribunalen i Nürnberg, Tyskland.
Den 13 december 1945 avrättades kommendanten Josef Kramer och tio andra åtalade. De andra fick fängelsestraff eller frikändes.
Liknande rättegångar mot chefer i andra nazistiska koncentrationsläger skedde i amerikanska militärdomstolar i Dachau mellan 1945 och 1947. SS-officerare i Einsatzgruppen, de rörliga mordenheterna, som var ansvariga för mordet på judar, kommunister och andra i östra Europa, åtalades i Nürnberg inför en amerikansk domstol 1947–1948. Andra rättegångar hölls för företrädare för den tyska industrin som hade tjänat pengar på nazistiska brott.
Oräkneliga rättegångar i alla länder i Europa som ockuperats, nära själva brottsplatserna. 1947 hängdes Rudolf Höss, kommendant i Auschwitz, på platsen där lägret legat, efter en rättegång i Kraków.
Förintelsen förövare ställdes inför rätta i nya rättegångar under många år efter kriget. Till exempel Eichmann-rättegången (Jerusalem, 1961); Auschwitzrättegången (Frankfurt, Tyskland, 1953–1965); och rättegångarna mot Klaus Barbie (Lyon, Frankrike, 1987), Paul Touvier (Versailles, Frankrike 1994) och Maurice Papon (Bordeaux, Frankrike, 1998).
Under de senaste åren har rättegångar mot mindre funktionärer genomförts, även om de åtalades ålder har gjort det svårare att bevisa att de är inblandade eller att uppfylla alla krav på rättssäkerhet.
