We wrześniu 1945 r. ruszył pierwszy po II wojnie światowej proces komendanta SS oraz personelu obozu koncentracyjnego Bergen-Belsen, spośród których wielu zarządzało również obozem Auschwitz-Birkenau. Proces odbył się w niemieckim mieście Lüneburg. Był to trybunał wojskowy, a większość świadków oskarżenia stanowili ocaleni z tych obozów.
W listopadzie 1945 roku pozostali przy życiu najwyżsi urzędnicy III Rzeszy zostali postawieni przed Międzynarodowym Trybunałem Wojskowym w Norymberdze w Niemczech.
13 grudnia 1945 roku komendant Josef Kramer został stracony wraz z dziesięcioma innymi oskarżonymi. Pozostali oskarżeni usłyszeli wyroki pozbawienia wolności lub zostali uniewinnieni.
Podobne procesy urzędników z innych nazistowskich obozów koncentracyjnych odbyły się przed amerykańskimi trybunałami wojskowymi w Dachau w latach 1945–47. Oficerowie Einsatzgruppen SS, czyli mobilnych plutonów egzekucyjnych, odpowiedzialni za mordowanie Żydów, komunistów i innych na terenach Europy Wschodniej pod okupacją nazistowską, zostali osądzeni przez amerykański trybunał w Norymberdze w latach 1947–48. Odbywały się też procesy przedstawicieli przemysłu niemieckiego, którzy czerpali korzyści ze zbrodni popełnianych przez nazistów.
Wiele procesów miało miejsce w różnych miejscach Europy, w pobliżu miejsc, w których sprawcy dopuszczali się zbrodni. W 1947 roku Rudolf Höss, komendant obozu w Auschwitz, został powieszony na terenie obozu po procesie, który odbył się w Krakowie.
Procesy sprawców Holokaustu trwały przez wiele lat po wojnie. Były to między innymi proces Eichmanna (Jerozolima, 1961); proces Auschwitz (Frankfurt, Niemcy, 1953–1965); a także procesy Klausa Barbiego (Lyon, Francja, 1987), Paula Touviera (Wersal, Francja, 1994) oraz Maurice’a Papona (Bordeaux, Francja, 1998).
W ostatnich latach odbywały się procesy niższych funkcjonariuszy, jednak ze względu na wiek oskarżonych udowodnienie im winy oraz przeprowadzenie sprawiedliwego procesu było trudne.
