В сентябре 1945 года состоялся первый после Второй мировой войны суд над комендантом СС и личным составом концлагеря Берген-Бельзен; некоторые из этих преступников также работали в Освенциме II (Биркенау). Суд прошел в немецком городе Люнебург. Это был военный трибунал, и большинство свидетелей обвинения принадлежали к выжившим в одном или обоих лагерях.
В ноябре 1945 года высокопоставленные чиновники Третьего рейха предстали перед судом МВТ в Нюрнберге, Германия.
13 декабря 1945 года были казнены комендант Йозеф Крамер и еще десять подсудимых. Остальных обвиняемых приговорили к лишению свободы или оправдали.
Аналогичные процессы над должностными лицами других нацистских концлагерей проводились американскими военными трибуналами в Дахау в период с 1945 по 1947 год. Офицеры айнзацгрупп СС (мобильных эскадронов смерти), ответственные за убийства евреев, коммунистов и прочего населения оккупированной нацистами Восточной Европы, предстали перед американским трибуналом в Нюрнберге в 1947–1948 годах. Под суд отдали и представителей немецкой промышленности, которые наживались на преступлениях нацистов.
Недалеко от мест совершения преступлений в оккупированной Европе шли бесчисленные судебные процессы над преступниками. В 1947 году, после суда в Кракове, бывший комендант Освенцима Рудольф Хёсс был повешен на месте лагеря.
Суды над виновниками Холокоста продолжались в течение многих лет после войны. Это и процесс Эйхмана (Иерусалим, 1961 г.); и Освенцимский процесс (Франкфурт, Германия, 1953–1965 гг.); и процессы Клауса Барби (Лион, Франция, 1987 г.), Поля Тувье (Версаль, Франция, 1994 г.) и Мориса Папона (Бордо, Франция, 1998 г.).
В последние годы проводились судебные процессы над несовершеннолетними должностными лицами, хотя возраст обвиняемых усложняет попытки доказать их причастность и гарантировать надлежащую правовую процедуру.
