У септембру 1945. године, прво послератно суђење команданту и особљу СС јединица концентрационог логора Берген-Белзен од којих је одређени број био такође и у Аушвицу-Биркенау, почело је у немачком граду Линебургу. То је био војни трибунал и већина сведока оптужбе су били преживели из једног или оба логора.
У новембру 1945. године, високорангирани преживели званичници Трећег Рајха изведени су пред IMT у Нирнбергу, Немачка.
13. децембра 1945. године, погубљени су командант Јозеф Крамер и десет других оптужених. Остали оптужени су добили затворске казне или су били ослобођени.
Слична суђења службеницима других нацистичких концентрационих логора су одржавали амерички војни трибунали у Дахауу од 1945. до 1947. године. Официри СС Оперативних група, покретних одреда за убијање, одговорни за убијање Јевреја, комуниста и других у окупираној источној Европи, процесурани су у Нирнбергу пред Америчким трибуналом 1947-1948. Друга суђења су вођена за представнике немачке индустрије који су профитирали од нацистичких злочина.
Безброј суђења починиоцима је одржано широм окупиране Европе, у близини места где су злочини били почињени. 1947. године, Рудолф Хос, командант Аушвица, обешен је на месту логора након суђења у Кракову.
Суђења починиоцима Холокауста су се наставила током много година након рата. То обухвата Суђење Ајхману (Јерусалим, 1961.), Суђење за Аушвиц (Франкфурт, Немачка, 1953-1965.) и суђења Клаусу Барбију (Лион, Француска, 1987.), Полу Тувијеу (Версај, Француска, 1994.) и Морису Папону (Бордо, Француска, 1998).
У последњих неколико година, суђења нижим функционерима су се одржавала, иако је старост оптужених компликовала напоре да се докаже њихово учешће или да се гарантује исправан процес.
