1945年9月,第二次世界大战后针对党卫军指挥官和卑尔根-贝尔森集中营人员的第一次审判在德国吕内堡开始,其中一些人也曾在奥斯威辛-比克瑙呆过。这是一个军事法庭,控方的大多数证人都是一个或两个集中营的幸存者。
1945年11月,德意志第三帝国尚在世的高级官员在德国纽伦堡国际军事法庭接受审判。
1945年12月13日,指挥官约瑟夫·克莱默和其他十名被告被处决。其他被告被判入狱或无罪释放。
1945年至1947年,美国军事法庭在达豪对其他纳粹集中营的官员进行了类似的审判。1947-1948年,负责杀害纳粹占领东欧犹太人、共产主义者和其他人的党卫军别动队(机动杀戮小队)军官在纽伦堡接受了美国法庭的审判。针对从纳粹罪行中获利的德国工业代表进行了其他审判。
在被占领的欧洲各地,在犯罪发生地附近进行了无数次施害者审判。1947年,奥斯威辛指挥官鲁道夫·霍斯在克拉科夫受审后被绞死在集中营。
战后,对大屠杀施害者的审判持续了许多年。其中包括艾希曼审判(耶路撒冷,1961年);奥斯威辛审判(德国法兰克福,1953-1965年);克劳斯·巴比(法国里昂,1987年)、保罗·图维尔(法国凡尔赛,1994年)和莫里斯·帕彭(法国波尔多,1998年)审判。
近年来,对未成年人员的审判一直在进行,尽管被告的年龄使得证明其涉案或保证正当程序的工作复杂化。