در ماه سپتامبر 1945، اولین محاکمه فرماندهان SS و کارکنان اردوگاه کار اجباری Bergen-Belsen (برگن-بلزن) انجام شد، که تعدادی از آنان در اردوگاه Auschwitz-Birkenau (آشویتس-برکناو) هم بودند. این محاکمه در شهر Lüneburg (لونبورگ) آغاز شد. این محاکمه در دادگاهی نظامی برگزار شد و اغلب شاهدان آن بازماندگان یک یا هر دو اردوگاه بودند.
در ماه نوامبر 1945، مقامات رسمی رده بالای «رایش سوم» در حضور دادگاه بین‌المللی IMT نورنبرگ آلمان محاکمه شدند.
در 13 دسامبر 1945، یوزف کرامر فرمانده اردوگاه و ده متهم دیگر اعدام شدند. متهمین دیگر محکوم به زندان یا تبرئه شدند.
بین سال‌های 1945 و 1947 دادگاه‌های مشابهی برای سایر مقامات اردوگاه‌های کار اجباری نازی، توسط دادگاه‌های نظامی آمریکایی برگزار شد. افسران SS Einsatzgruppen (یگان‌های رزمی)، جوخه‌های سیار کشتار بودند که مسئول قتل یهودیان، کمونیست‌ها و دیگران، در اروپای شرقی تحت اشغال نازی بودند. این افسران در سال‌های 1947 تا 1948 در نورنبرگ در حضور دادگاهی آمریکایی محاکمه شدند. دادگاه‌های دیگری برای نمایندگان صنعت آلمان که از جنایات نازی‌ها سود برده بودند، برگزار شد.
در سراسر اروپای اشغالی، دادگاه‌های بی‌شماری برای محاکمه مجرمان در نزدیکی محلی که مرتکب جرم شده بودند، برگزار شد. در سال 1947، رودلف هوس، فرمانده اردوگاه Auschwitz (آشویتس)، پس از محاکمه‌ای در کراکوف در محل اردوگاه Auschwitz آشویتس اعدام شد.
تا سال‌ها پس از اتمام جنگ، محاکمه مجرمان هولوکاست ادامه داشت. از جمله محاکمه آیشمان (اورشلیم، سال 1961)؛ محاکمه Auschwitz (آشویتس) (فرانکفورت، آلمان، 1953 تا 1965)؛ و محاکمه کلاوس باربی (لیون، فرانسه، 1987) پل توویه (ورسای، فرانسه، 1994) و موریس پاپون (بوردو، فرانسه، 1998).
در سال‌های اخیر، محاکمه کارکنان رده پایین برگزار شده است، اگرچه سن متهمین تلاش برای اثبات نقش داشتن آن‌ها در هولوکاست یا رعایت مراحل قانونی را پیچیده کرده است.
