Bergen-Belsen toplama kampında görev yapan ve bir kısmı Auschwitz-Birkenau’da da bulunmuş olan SS kumandanları ve personelinin 2. Dünya Savaşı sonrasındaki ilk davası, Eylül 1945’te, Almanya’daki Lüneburg şehrinde başladı. Bu mahkeme askeri nitelikliydi ve iddia makamı tanıklarının çoğu, bir veya birden fazla kampın hayatta kalan sakinleriydi.
Kasım 1945’te, Üçüncü Reich’ın hayatta kalmış olan yüksek rütbeli görevlileri, Almanya’da Nüremberg’de Uluslararası Askeri Mahkeme önünde mahkemeye çıkarıldı.
13 Aralık 1945 tarihinde, kumandan Josef Kramer ve diğer on davalı idam edildi. Diğer davalılara hapis cezaları veya beraat verildi.
Diğer Nazi toplama kamplarının görevlileri için benzer davalar, Dachau’daki Amerikan askeri mahkemelerinde 1945 ve 1947 yılları arasında görüldü. Nazi işgali altındaki Doğu Avrupa’daki Yahudilerin, Komünistlerin ve diğerlerinin katliamından sorumlu olan mobil ölüm birlikleri SS Einsatzgruppen görevlileri, 1947-1948 yılları arasında Amerika’daki mahkeme öncesinde Nürnberg’de yargı önüne çıktı. Diğer davalar ise Nazi suçlarından kar elde eden Alman endüstrisi temsilcileri içindi.
İşgal altındaki Avrupa’nın çeşitli yerlerinde, suçların işlendiği bölgelerin yakınında failler için sayısız mahkeme kuruldu. 1947 yılında, Auschwitz kumandanı Rudolf Hoess, Krakov’daki mahkemenin ardından kamp alanında asıldı.
Holokost faillerinin mahkemeleri, savaş sonrasında uzun yıllar devam etti. Bunların arasında Eichmann Mahkemesi (Kudüs, 1961), Auschwitz Mahkemesi (Frankfurt, Almanya, 1953-1965) ve Klaus Barbie (Lyon, Fransa, 1987), Paul Touvier (Versailles, Fransa 1994) ve Maurice Papon (Bordeaux, Fransa, 1998) mahkemeleri bulunur.
Küçük fonksiyonlarda görev yapanların mahkemeleri, son yıllarda devam etmiş olsa da, davalıların yaşı, olaya dahil olduklarını kanıtlamak veya kanuni prosedürün garantilenmesi için olan çabaları karmaşıklaştırdı.